| 특허명 |
출원일 |
출원번호 |
등록번호 |
| 고순도 헥사플루오르프로필렌 정제방법 |
2011-04-05 |
10-2011-0031003 |
10-1198349 B1 |
| 고순도 헥사플루오르프로필렌 정제용기 |
2011-04-05 |
10-2011-0031004 |
10-1198350 B1 |
| 고순도 헥사플루오르프로필렌 정제장치 |
2011-04-05 |
10-2011-0031005 |
10-1198351 B1 |
| 펜타플루오로에틸요오다이드의 정제방법 |
2012-02-28 |
10-2012-0020494 |
10-1236713 B1 |
| 플루오르화붕소의 정제방법 |
2012-02-28 |
10-2012-0020495 |
10-1202421 B1 |
| 플루오르화붕소의 정제장치 |
2012-02-28 |
10-2012-0020496 |
10-1202422 B1 |
| 암모니아 보란의 합성 시스템 및 이를 이용한 암모니아 보란의 제조방법 |
2012-09-04 |
10-2012-0097931 |
10-1255757 B1 |
| 헥사플루오르플로필렌옥사이드 고순도 정제방법 |
2013-05-22 |
10-2013-0057619 |
10-1433626 |
| 암모니아 보란의 연속 합성 공정 시스템 및 이를 이용한 암모니아 보란의 제조방법 |
2013-10-16 |
10-2013-0123152 |
10-1568142 B1 |
| 초임계 유체를 이용한 암모니아 보란의 재생방법 |
2015-01-19 |
10-2015-0008923 |
10-1639622 B1 |
| 초임계 유체를 이용한 암모니아 보란의 재생 시스템 |
2015-01-19 |
10-2015-0008927 |
10-1639621 B1 |
| 테트라플루오르메탄의 고순도 정제방법 |
2015-09-25 |
10-2015-0136414 |
10-2074832 |
| 디보란 정제장치 및 정제방법 |
2016-04-05 |
10-2016-0041437 |
10-1799380 |
| 암모니아 흡착장치 |
2017-01-24 |
10-2017-0010856 |
10-1902776 |
| 암모니아 발생 및 방출 장치 |
2017-01-24 |
10-2017-0010857 |
10-1985730 |
| 플루오르화붕소 정제방법 |
2017-01-24 |
10-2017-0011256 |
10-1868811 |
| 식각 가스 혼합물과 이를 이요한 패턴 형성 방법과 집적회로 소자의 제조 방법 |
2017-11-16 |
10-2017-0153318 |
10-2504833 |
| 고수율의 클로로폴리실란의 제조방법 |
2019-04-17 |
10-2019-0045072 |
10-2246599 |
| 실란합성을 위한 촉매 및 이의 제조방법 |
2019-10-01 |
10-2019-0121551 |
10-2313138 |
| 실란합성을 위한 촉매 재생 방법 및 이 방법으로 제조된 촉매 |
2019-10-01 |
10-2019-0121555 |
10-2313140 |
| 함불소 환형 황화합물의 제조방법 |
2020-04-09 |
10-2020-0043578 |
10-2357131 |
| 시각 가스 혼합물과 이를 이용한 패턴 형성 방법 |
2020-08-04 |
10-2020-0097454 |
10-2244862 |
| 함불소 환형 황 화합물의 연속적인 제조방법 |
2020-09-07 |
10-2020-0113615 |
10-2478247 |
| 올리고실란의 제조방법 |
2020-11-30 |
10-2020-0163827 |
10-2388957 |
| 올리고실란의 제조방법 및 이를 위한 장치 |
2020-11-30 |
10-2020-0163821 |
10-2388956 |
| 디실란의 제조방법 |
2020-12-28 |
10-2020-0184648 |
10-2391319 |
| 높은 선택비를 갖는 식각 가스 조성무로가 이를 이용한 반도체 메모리 소자의 제조 공정 |
2021-02-03 |
10-2021-0015105 |
10-224885 |
